目前医疗器械广泛采用环氧乙烷来灭菌，环氧乙烷灭菌器是一次性使用无菌医疗器械生产企业的关键设备，安装操作、使用管理都有其特殊要求，用环氧乙烷来做灭菌剂。环氧乙烷在室温条件下，很容易挥发成气体，当浓度过高时可引起爆炸。环氧乙烷不损害灭菌的物品且穿透力很强，故多数不宜用一般方法灭菌的物品均可用环氧乙烷消毒和灭菌，环氧乙烷是目前主要的低温灭菌方法之一。目前使用的环氧乙烷灭菌器种类很多，按大小可分大型、中型和小型环氧乙烷灭菌器。大型的容器有数十立方米，中等的有1-10ｍ³，小型的有零点几至１立方米。它们各有不同的用途：

　　1.大型环氧乙烷灭菌器：一般用于大量处理物品的灭菌，用药量为0.8kg/m³-1.2kg/m³，在55℃～60℃下作用６h。

　　2.中型环氧乙烷灭菌器：一般用于一次性使用诊疗用品的灭菌。这种灭菌设备完善，自动化程度高，可用纯环氧乙烷或环氧乙烷和二氧化碳混合气体。一般要求灭菌条件为：浓度，800mg/L-1000mg/L；温度，55℃～60℃；相对湿度60％～80％；作用时间6h。灭菌完成需抽真空。灭菌物品常用可透过环氧乙烷的塑料薄膜密闭包装。如果在小包装上带有可过滤空气的滤膜，则灭菌效果更好。

　　3.小型环氧乙烷灭菌器：多用于医疗卫生部门处理少量医疗器械和用品，目前有纯环氧乙烷或环氧乙烷和二氧化碳混合气体。这类灭菌器自动化程度比较高，可自动抽真空，自动加药，自动调节温度和相对湿度，可自动控制灭菌时间。